超聲波掃描顯微鏡是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉換技術(shù)、計算機圖像處理技術(shù)完美地結合在一起而開(kāi)發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品,可以在計算機上很方便地觀(guān)察金相圖像,從而對金相圖譜進(jìn)行分析,評級等以及對圖片進(jìn)行輸出、打印。 超聲波掃描顯微鏡主要由光學(xué)系統、照明系統、機械系統、附件裝置(包括攝影或其它如顯微硬度等裝置)組成。根據金屬樣品表面上不同組織組成物的光反射特征,用顯微鏡在可見(jiàn)光范圍內對這些組織組成物進(jìn)行光學(xué)研究并定性和定量描述。
超聲波掃描顯微鏡是專(zhuān)門(mén)用于觀(guān)察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡。這些不透明物體無(wú)法在普通的透射光顯微鏡中觀(guān)察,因此金相和普通顯微鏡的主要差別在于前者以反射光,而后者以透射光照明。在金相顯微鏡中照明光束從物鏡方向射到被觀(guān)察物體表面,被物面反射后再返回物鏡成像。這種反射照明方式也廣泛用于集成電路硅片的檢測工作。
超聲波掃描顯微鏡是用可見(jiàn)光作為照明源的一種顯微鏡可分為正立式和倒置式兩種。兩者的區別為:
正立式顯微鏡:光路短,光路設計簡(jiǎn)單,光損少,制樣要求高,樣品高度有要求,方便多視場(chǎng)連續觀(guān)察,鏡頭不易落灰易維護。
倒置式顯微鏡:光路長(cháng),光損較大,光路設計較復雜,制樣要求較低,對樣品高低無(wú)要求,檢測方便快速,不適合多視場(chǎng)分析,同等配置下倒置顯微鏡的價(jià)格要高于正立式顯微鏡。