勻膠機/旋涂?jì)x有很多種稱(chēng)謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱(chēng)甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來(lái)說(shuō),他們原理都是一樣的,既在高速旋轉的基片上,滴注各類(lèi)膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。 勻膠機盡管是一款原理比較簡(jiǎn)單的實(shí)驗室小型儀器,但影響勻膠效果的卻有勻膠速度(speed)、勻膠時(shí)間(time)、勻膠加速度(acceleration)、控制精度(accuracy)等因素。其中最重要的就是控制精度(accuracy),沒(méi)有控制精度,其他的設置都是虛無(wú)。這也是某些品牌勻膠機最致命的問(wèn)題所在。
安賽斯(中國)有限公司提供的HC系列勻膠機,采用進(jìn)口電機及觸屏控制系統,實(shí)現對轉速、時(shí)間和加速度的精確控制,轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm,實(shí)現勻膠過(guò)程的高精度和高重復性。
最新升級的HC系列勻膠機有HC150PE,HC160PE,HC220PE等多個(gè)型號,滿(mǎn)足不同尺寸晶元的勻膠需求。 |