當前位置:首頁(yè) >產(chǎn)品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂?jì)x>HC160PE精密勻膠機
簡(jiǎn)要描述:HC160PE精密勻膠機是一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔;內腔壁采用凹面設計,有效防濺;高級PLC全自動(dòng)程序控制,可編程;
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細介紹
產(chǎn)品特色
? 設計緊湊,可放置在手套箱內;
? 4.3英寸彩色觸屏控制,人機界面;
? 一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔;內腔壁采用凹面設計,有效防濺;
? 高級PLC全自動(dòng)程序控制,可編程;
? 帶真空度安全互鎖檢測功能;帶蓋子安全互鎖檢測功能;
? 具有電機進(jìn)膠保護功能;管路易疏通設計;具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數自動(dòng)保存功能。
? 不銹鋼外殼,美觀(guān)耐腐蝕;
? 帶一路自動(dòng)點(diǎn)膠接口,可升級自動(dòng)點(diǎn)膠系統;
? 可設置用戶(hù)密碼保護功能;
? 配置可調基座,方便調節水平;
性能參數
? 適用晶元尺寸范圍:?5~160mm;
? 旋涂速度:100~12000rpm;轉速分辨率:1rpm;
? 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
? 最大旋涂時(shí)間:3000s;旋涂時(shí)間精度:0.1s;
? 內腔直徑220mm,內腔壁采用凹面防濺設計;
? 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
? 電源輸入:AC200-230V;
產(chǎn)品咨詢(xún)
郵箱:info@analysis-tech.com
地址:北京市海淀區建材城中路3號樓程遠大廈B座606
官方微信
公司官網(wǎng)
微信掃一掃