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可編程精密不銹鋼勻膠機,采用高精度工業(yè)伺服電機,配置8英寸人機界面,清晰的編程程序界面設置,易學(xué)易用。是半導體行業(yè)專(zhuān)用儀器設備。適合半導體行業(yè)及科研院所,實(shí)驗室級的研究開(kāi)發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,可編程不銹鋼勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉勻膠設備,它可以實(shí)現價(jià)值百萬(wàn)美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。
不銹鋼勻膠機HC150P:E可編程勻膠機,采用分體式結構設計,高分子HDPE耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,直觀(guān)清晰的程序界面與設計,美觀(guān)大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。 不銹鋼勻膠機HC150PE:該勻膠機結構緊湊、簡(jiǎn)單易用,可編程實(shí)現單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內操作。HDPE高分子材料旋涂?jì)惹?,美觀(guān)耐腐蝕,經(jīng)久耐用。
精密旋涂?jì)x:采用高級PLC 全自動(dòng)程序控制,轉速精度高,穩定性好??捎糜谖㈦娮?、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
HC220可編程旋涂?jì)x/勻膠機,采用高精度工業(yè)伺服電機,配置8英寸人機界面,清晰的編程程序界面設置,易學(xué)易用。適合半導體行業(yè)及科研院所,實(shí)驗室級的研究開(kāi)發(fā)
HC220PE精密勻膠機 HDPE高分子內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;內腔壁采用凹面設計,有效防濺;可編程寫(xiě)和存儲100組程序,每組100步
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